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TS-DX系列等离子蚀刻机

产品/服务:
有效期至: 长期有效
最后更新: 2017-11-17 23:08
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“TS-DX系列等离子蚀刻机”参数说明

种类: 等离子 类型: 单面
加工定制:

“TS-DX系列等离子蚀刻机”详细介绍

本设备通过物理与化学想结合的方法,对很细的线条(亚微米一下)进行刻蚀以形成精细的图形。本设备具有选择比较好、刻蚀速度比较快、重复性好、性价比较高等特点。可刻蚀的材料主要有Ponly-Si、Si、Sio、W、Mo、GaN、GaAs、AI等。
本设备主要应用于微电子、光电子、通讯、微机械、新材料、能源等领域的器件研发和制造。

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